万业企业旗下嘉芯半导体连续中标特色工艺线项目
时间：2023-07-10 01:11:52 来源：互联网
(资料图片)
据悉，自2022下半年开始，万业企业子公司嘉芯半导体多次中标多款设备。包含快速热处理（RTP）、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）以及钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）等。
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